DM-2004微波等离子体装置技术特性

技术参数及特性

1.    反应室工作压强：几百帕～十千帕

2.    反应室极限压强: 6×10－1帕

3.    反应室尺寸：   Φ50mm

4.    微波功率：    0～500W

5.    基片温控：      200～1000℃

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